原子力顯微鏡（AFM）主要量測的是下列何者？

正確答案：C. 表面的微細凹凸（形狀與粗糙度）

AFM以裝有尖銳探針的板彈簧（懸臂）沿表面描掃，一邊以雷射反射偵測原子間作用力造成的彎曲一邊掃描，量測表面的凹凸。在高度方向連0.1 nm左右的差異都能量測，因此用於評估CMP後的表面粗糙度與薄膜的表面狀態。若採用使探針振動並輕觸的輕敲模式（tapping mode），則較不易損傷試片。片電阻與摻雜物的分布以其他手法量測。