量測與分析 用於量測矽中間隙氧濃度的方法是下列何者？ A四探針法 BEDX C紅外線吸收（FTIR）法 查看答案與解析 正確答案：C. 紅外線吸收（FTIR）法 矽中的間隙氧會因Si-O-Si鍵的振動而吸收波數約1107 cm⁻¹的紅外光。以FTIR量測其吸收強度，即可非破壞地求出氧濃度。CZ晶圓中的氧一方面有助於吸除（gettering），另一方面過多時又會因析出而成為缺陷的原因，因此需管理其濃度。也可用於量測取代型碳（約605 cm⁻¹）。四探針法與EDX無法量測氧濃度。