四探針法主要量測的是下列何者？

正確答案：A. 片電阻

四探針法是將排成一直線的4根探針接觸試片，在外側2根通入電流，以內側2根量測電壓。由於量測電壓的探針幾乎沒有電流流過，因此不受接觸電阻影響即可量測片電阻。對於夠寬的薄膜，可由Rs=(π/ln2)×V/I≒4.53×V/I求得。用於擴散層與金屬膜的評估。應力是由晶圓的翹曲、粗糙度則是以AFM等來量測。