因斷鍵原子等在半導體與絕緣膜界面產生、位於能隙中的能階。會捕捉與釋放載子,造成臨界電壓變動、遷移率下降與雜訊。
日文名稱: 界面準位
這個名詞所屬的領域: 氧化與擴散
可動離子 合成氣體退火 氧化增強擴散(OED) 乾式氧化 鳥嘴效應 氮氧化矽膜(SiON) 熱氧化 熱擴散 濕式氧化 驅入擴散
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