不製作電極，以電暈放電在晶圓表面載上電荷，量測表面電位的變化，藉此評估氧化膜或界面的電性特性的方法是下列何者？

正確答案：C. 利用電暈充電的非接觸電性評估（COCOS等）

以電暈放電在晶圓表面載上固定量的電荷，並以克耳文探針非接觸地量測表面電位，即使不製作MOS結構，也能評估氧化膜的厚度、膜中電荷、界面能態、漏電特性等。由於不需要製作閘極電極的步驟，量測過的晶圓也能直接進入下一製程，因此用於製造線的監控。四探針法或X光繞射無法得知這些電性特性。

• A. 四探針法是量測電阻率的接觸式方法。
• B. X光繞射是調查晶體結構的方法。
• C. 正確。以電暈充電與表面電位的量測來評估。