計測・分析 集束イオンビーム(FIB)装置の主な用途はどれか。 A微小な領域の加工、断面試料の作製、回路の修正 Bウエハ全面の膜厚測定 Cウエハの洗浄 答えと解説を見る 正解：A. 微小な領域の加工、断面試料の作製、回路の修正 FIBは、ガリウムなどのイオンを細く絞って試料に当て、狙った位置をナノメートル単位で削ったり、ガスと組み合わせて膜を堆積させたりできる装置です。TEM用の薄片試料の作製、不良箇所の断面観察、試作チップの配線の修正などに使われます。