開口数(NA)とは
かいこうすう
レンズが集められる光の角度の広がりを表す値。大きいほど解像度が高くなる。
この用語の分野: リソグラフィ
解説の中の「開口数(NA)」
レイリーの式 R = k1·λ/NA より、Rを小さくするには波長λを短く、開口数NAを大きくし、k1を下げます。
解像度の式 R = k1 × λ / NA にもとづき、解像度を向上させる(Rを小さくする)方法として正しいものはどれ…焦点深度は DOF = k2·λ/NA² で、NAの2乗に反比例するため、NAを大きくすると急に浅くなります。
露光装置の開口数(NA)を大きくすると、焦点深度(DOF)は一般にどうなるか。NAが大きいと、ウエハに入射する光の角度が大きくなります(NA 1.35では水中で約70°)。
開口数(NA)が非常に大きい液浸露光で、光の偏光を考慮する必要が出てくる理由として正しいものはどれか。
「開口数(NA)」が出てくる問題(13問)
- 解像度の式 R = k1 × λ / NA にもとづき、解像度を向上させる(Rを小さくする)方法として正しいものはどれか。
- 露光装置の開口数(NA)を大きくすると、焦点深度(DOF)は一般にどうなるか。
- 解像度の式 R = k1 × λ / NA の係数k1についての説明として正しいものはどれか。
- 開口数(NA)が非常に大きい液浸露光で、光の偏光を考慮する必要が出てくる理由として正しいものはどれか。
- p側の不純物濃度がn側よりはるかに高いPN接合(p+n接合)で、空乏層はどのように広がるか。
- PN接合の内蔵電位(拡散電位)と、両側の不純物濃度の関係として正しいものはどれか。
- バイポーラトランジスタが遮断領域(オフ)にあるときの接合の状態として正しいものはどれか。
- MOSFETがオフの状態で流れるリーク電流の主な成分の組み合わせとして正しいものはどれか。
- MOS構造のフラットバンド電圧の説明として正しいものはどれか。
- ブルーレイディスクの読み書きに使われる波長約405 nmの青紫色の半導体レーザーの材料はどれか。
- ArF液浸露光の説明として正しいものはどれか。
- 次世代のEUV露光装置として開発された「High-NA EUV」の特徴として正しいものはどれか。
- EUV露光装置を事実上1社で供給している企業はどれか。
関連する用語
空乏層 焦点深度(DOF) 液浸露光 EUV露光 マルチパターニング CMP プロセスウィンドウ 位相シフトマスク OPC(光学近接効果補正) 内蔵電位