計測・分析

透過電子顕微鏡(TEM)で試料を観察するために必要な前処理として正しいものはどれか。

  1. A試料を数cmの厚さに積層する
  2. B電子線が透過できるよう、試料を100 nm程度以下まで薄く加工する
  3. C試料を液体に溶かす
答えと解説を見る

正解：B. 電子線が透過できるよう、試料を100 nm程度以下まで薄く加工する

TEMは試料を透過した電子で像をつくるため、試料を非常に薄くする必要があります。半導体デバイスでは、集束イオンビーム(FIB)で観察したい場所を薄片に加工する方法がよく使われます。原子の並びが見えるほどの高い分解能で、断面の構造を観察できます。

この分野を解く 分野ページへ

計測・分析のほかの問題

  1. ウエハ上の異物やパターン欠陥を検出する欠陥検査装置で使われる代表的な原理はどれか。
  2. 原子間力顕微鏡(AFM)で主に測定するものはどれか。
  3. SEMやTEMと組み合わせて使われるEDX(エネルギー分散型X線分光)で分かることはどれか。
  4. ウエハ表面の微量な金属汚染の分析によく使われる方法はどれか。
  5. MOSキャパシタのC-V(容量-電圧)測定から評価できるものとして正しいものはどれか。