断面の形をくわしく調べるために、ウエハを割ったり削ったりしてから観察する方法の特徴として正しいものはどれか。

正解：B. 破壊検査なので、観察したウエハやチップはそのまま製品にできない

断面のSEMやTEMの観察では、ウエハを割ったりFIBで加工したりするため、観察した部分は製品として使えなくなります(破壊検査)。そのため、製品のウエハの一部を抜き取ったり、評価専用のウエハを使ったりします。

• A. 断面の構造をくわしく調べられます。
• B. 正しい。破壊検査なので製品にはできません。
• C. 割ったり削ったりしたウエハは出荷できません。