什麼是TEM(穿透式電子顯微鏡)
使電子束穿透薄化試樣來進行觀察的顯微鏡。具有原子等級的解析度，可檢查剖面結構與晶體缺陷。
日文名稱: TEM(透過電子顕微鏡)
這個名詞所屬的領域: 量測與分析
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四點探針法 缺陷檢測設備 橢圓偏光術 AFM(原子力顯微鏡) CD-SEM(臨界尺寸掃描式電子顯微鏡) EDX(能量色散X射線光譜) FIB(聚焦離子束) SEM(掃描式電子顯微鏡) SIMS(二次離子質譜法) TXRF(全反射X射線螢光分析)
使電子束穿透薄化試樣來進行觀察的顯微鏡。具有原子等級的解析度，可檢查剖面結構與晶體缺陷。
日文名稱: TEM(透過電子顕微鏡)
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