エリプソメトリとは
えりぷそめとり
偏光した光を当てて、反射による偏光状態の変化から薄膜の厚さや屈折率を求める測定法。非破壊で測れる。
この用語の分野: 計測・分析
解説の中の「エリプソメトリ」
エリプソメトリは、偏光した光を試料に当て、反射光の偏光状態がどう変わったかを測定し、光学モデルとの比較によって薄膜の膜厚や屈折率を求める方法です。
エリプソメトリ(分光エリプソメトリ)で主に測定するものはどれか。精密な測定にはエリプソメトリや分光干渉を使います。
シリコン上の酸化膜が、膜厚に応じてさまざまな色に見える理由として正しいものはどれか。
「エリプソメトリ」が出てくる問題(2問)
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