計測・分析

TEMで、細く絞った電子線を走査しながら、透過した電子のエネルギーの損失を測って元素や化学状態の分布を調べる手法はどれか。

  1. A4探針法
  2. Bホール測定
  3. CSTEM-EELS(電子エネルギー損失分光)
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正解：C. STEM-EELS(電子エネルギー損失分光)

STEM(走査型透過電子顕微鏡)では、細い電子線を試料上で走査します。透過した電子がどれだけエネルギーを失ったかを測るEELSを組み合わせると、原子レベルに近い空間分解能で元素の種類や化学結合の状態の分布を調べられます。極薄のゲート絶縁膜や界面の評価などに使われます。

  • A. 4探針法は抵抗率を測る方法です。
  • B. ホール測定はキャリアの種類や濃度、移動度を調べる方法です。
  • C. 正しい。透過電子のエネルギー損失で元素や状態を調べます。
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