TEM(透過電子顕微鏡)란?
てぃーいーえむ
薄くした試料に電子線を透過させて観察する顕微鏡。原子レベルの分解能で、断面の構造や結晶の欠陥を調べられる。
일본어 명칭: TEM(透過電子顕微鏡)
분야: 계측과 분석
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관련 용어
四探針法 欠陥検査装置 AFM(原子間力顕微鏡) CD-SEM EDX(エネルギー分散型X線分光) FIB(集束イオンビーム) SEM(走査電子顕微鏡) SIMS(二次イオン質量分析法) TXRF(全反射蛍光X線分析) XPS(X線光電子分光法)