選択エピタキシャル成長とは
せんたくえぴたきしゃるせいちょう
絶縁膜で覆われていない、シリコンが露出した部分だけに結晶を成長させる方法。トランジスタのソース・ドレインのSiGeなどに使われる。
この用語の分野: エピタキシャル成長
解説の中の「選択エピタキシャル成長」
選択エピタキシャル成長では、塩酸(HCl)を加えるなどして、シリコンが露出した部分だけに結晶を成長させ、酸化膜や窒化膜の上にできかけた核はエッチングで消します。
選択エピタキシャル成長の説明として正しいものはどれか。
「選択エピタキシャル成長」が出てくる問題(1問)
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