希フッ酸(DHF)とは
きふっさん
フッ酸を水で薄めた洗浄液。シリコン表面の自然酸化膜を除去し、表面を水素で終端された疎水性の状態にする。
この用語の分野: CMP・洗浄
解説の中の「希フッ酸(DHF)」
熱酸化膜は緻密で欠陥が少ないため、希フッ酸(例えば1%)でのエッチング速度が毎分数nm程度と遅くなります。
同じ希フッ酸でエッチングしたとき、熱酸化膜とCVDで成膜した酸化膜のエッチング速度の一般的な関係として正しいものはどれ…フッ酸はSiO2を溶かすため、0.5〜1%程度の希フッ酸で数十秒処理すると、シリコン表面の約1 nmの自然酸化膜を取り除けます。
希フッ酸(DHF)による洗浄の主な目的はどれか。希フッ酸で酸化膜を除去したシリコン表面は、Si-H結合で水素終端された状態になり、水をはじく疎水性になります。
希フッ酸で最後に洗浄したシリコン表面の状態として正しいものはどれか。
「希フッ酸(DHF)」が出てくる問題(8問)
- 同じ希フッ酸でエッチングしたとき、熱酸化膜とCVDで成膜した酸化膜のエッチング速度の一般的な関係として正しいものはどれか。
- 希フッ酸(DHF)による洗浄の主な目的はどれか。
- 希フッ酸で最後に洗浄したシリコン表面の状態として正しいものはどれか。
- RCA洗浄で使われるSC-1(アンモニア・過酸化水素水の混合液)の主な目的はどれか。
- CMPのあとの洗浄で特に取り除く必要があるものはどれか。
- オゾンを溶かした超純水(オゾン水)を洗浄に用いる主な目的はどれか。
- 標準的なRCA洗浄におけるSC-1とSC-2の順序と目的の組み合わせとして正しいものはどれか。
- 洗浄で取り除く対象となるウエハ表面の汚染の種類の組み合わせとして正しいものはどれか。
関連する用語
SC-1(APM) SC-2(HPM) 自然酸化膜 RCA洗浄 超純水 SPM(硫酸過水) 熱酸化 CVD アニール シリサイド