超格子とは
ちょうこうし
異なる材料の層を数nm程度の厚さで交互に積み重ねた周期的な構造。本来の結晶にない電子的な性質が現れ、レーザーやバッファ層などに使われる。
この用語の分野: エピタキシャル成長
ちょうこうし
異なる材料の層を数nm程度の厚さで交互に積み重ねた周期的な構造。本来の結晶にない電子的な性質が現れ、レーザーやバッファ層などに使われる。
この用語の分野: エピタキシャル成長
対策として、組成を徐々に変えるバッファ層や、転位を曲げる超格子、選択成長などが使われます。
基板と成長膜の格子定数の差(格子不整合)が大きいときに起こりやすい問題はどれか。超格子は、GaAsとAlGaAsのような異なる材料の数nmの層を周期的に積み重ねた構造で、1970年に江崎玲於奈氏らが提案しました。
異なる材料の層を交互に積み重ね、各層を数nm程度に薄くした周期的な構造を何と呼ぶか。格子不整合 臨界膜厚 ミスフィット転位 貫通転位 GaAs(ガリウムヒ素) HVPE(ハイドライド気相成長) エピタキシャル成長 MOCVD(有機金属気相成長) MBE(分子線エピタキシー) オートドーピング