ホスフィン(PH3)とは

ほすふぃん

リンと水素の化合物のガス。シリコンにn型の不純物(リン)を導入する原料に使われる。毒性が非常に強い。

この用語の分野: プロセス材料(ガス・薬液)

解説の中の「ホスフィン(PH3)」

「ホスフィン(PH3)」が出てくる問題(9問)

  1. n型不純物の導入に使われるホスフィン(PH3)やアルシン(AsH3)の特徴として正しいものはどれか。
  2. ジボランやホスフィンなどのドーパント用のガスが、多くの場合、水素や窒素などで低い濃度に薄めた状態で供給される主な理由はどれか。
  3. アルシンやホスフィンなどの毒性ガスを、吸着材に吸着させて大気圧より低い圧力で容器に貯蔵・供給する方式の安全上の利点はどれか。
  4. シリコンのエピタキシャル成長で原料として使われるガスはどれか。
  5. エピタキシャル成長中にドーピングガスを流し、成長と同時に不純物を添加することを何と呼ぶか。
  6. 熱拡散でシリコンにリンを導入するときに、液体の拡散源として使われてきた化合物はどれか。
  7. イオン注入装置のイオン源で、ボロンのイオンをつくるために使われる代表的なガスはどれか。
  8. LPCVDでポリシリコン膜を成膜しながら、リンなどの不純物を含むガスを同時に流して導電性の膜をつくることを何と呼ぶか。
  9. p型不純物(ホウ素)の導入に使われる原料ガスとして正しいものはどれか。

関連する用語

アルシン(AsH3) イオン注入 エピタキシャル成長 除害装置 シラン(SiH4) アニール SiGe(シリコンゲルマニウム) 熱拡散 LPCVD(減圧CVD) NF3(三フッ化窒素)

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