マスフローコントローラ(MFC)とは
ますふろーこんとろーら
成膜やエッチングの装置で、ガスの質量流量を精密に測りながら、設定した値に一定に制御する機器。
この用語の分野: プロセス材料(ガス・薬液)
解説の中の「マスフローコントローラ(MFC)」
マスフローコントローラは、ガスの質量流量を熱式などのセンサで測り、内蔵の弁を調整して設定した流量に保つ機器です。
成膜やエッチングの装置で、ガスの流量を精密に測りながら一定に制御する機器はどれか。
「マスフローコントローラ(MFC)」が出てくる問題(1問)
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