ジボランやホスフィンなどのドーパント用のガスが、多くの場合、水素や窒素などで低い濃度に薄めた状態で供給される主な理由はどれか。

正解：B. 必要な添加量はごく少なく、流量を精密に制御しやすくするとともに、毒性や反応性のリスクを下げるため

ドーパントの添加量はごく微量なので、純ガスのままでは流量が小さすぎて精密に制御できません。数%〜ppmレベルに希釈したガスを使うと、流量計で扱いやすくなり、漏えい時の危険性も下げられます。

• A. 色を変えるためではありません。
• B. 正しい。精密な制御と安全性のために希釈します。
• C. においを強くするためではありません。