プロセス材料(ガス・薬液) n型不純物の導入に使われるホスフィン(PH3)やアルシン(AsH3)の特徴として正しいものはどれか。 A無害で特別な管理は不要である B毒性が非常に強く、厳重な漏えい管理が必要である C不燃・無臭で、空気中に放出しても安全である 答えと解説を見る 正解：B. 毒性が非常に強く、厳重な漏えい管理が必要である ホスフィンやアルシンは、ごく低い濃度でも人体に有害な極めて毒性の強いガスです。シリンダーキャビネットや漏えい検知器、除害装置などで厳重に管理されます。安全性を高めるため、低圧で吸着させた状態で供給する容器なども使われています。