イオン注入

イオン注入装置のイオン源で、ボロンのイオンをつくるために使われる代表的なガスはどれか。

  1. A三フッ化ホウ素(BF3)
  2. Bアルゴン
  3. C酸素
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正解：A. 三フッ化ホウ素(BF3)

イオン源では、BF3などのガスを放電で分解・電離して、B⁺やBF2⁺などのイオンをつくります。リンにはホスフィン(PH3)、ヒ素にはアルシン(AsH3)などが使われます。目的のイオンは質量分析部で選び出されます。

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