ホスフィン(PH3)란?
ほすふぃん
リンと水素の化合物のガス。シリコンにn型の不純物(リン)を導入する原料に使われる。毒性が非常に強い。
일본어 명칭: ホスフィン(PH3)
분야: 공정 재료(가스와 케미칼)
관련 용어
超純水 特殊材料ガス NF3(三フッ化窒素) TMAH アルシン(AsH3) シラン(SiH4) プリカーサ(前駆体) マスフローコントローラ(MFC)
ほすふぃん
リンと水素の化合物のガス。シリコンにn型の不純物(リン)を導入する原料に使われる。毒性が非常に強い。
일본어 명칭: ホスフィン(PH3)
분야: 공정 재료(가스와 케미칼)
超純水 特殊材料ガス NF3(三フッ化窒素) TMAH アルシン(AsH3) シラン(SiH4) プリカーサ(前駆体) マスフローコントローラ(MFC)