酸化・拡散
熱拡散でシリコンにリンを導入するときに、液体の拡散源として使われてきた化合物はどれか。
- Aアルシン(AsH3)
- Bオキシ塩化リン(POCl3)
- Cジボラン(B2H6)
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正解：B. オキシ塩化リン(POCl3)
オキシ塩化リン(POCl3)は、窒素などでバブリングして気化させ、酸素とともに炉に流すとシリコン表面にリンを含むガラス層をつくり、そこからリンを拡散させます。太陽電池のn型層の形成などで今も使われています。
- A. アルシンはヒ素を含むガスです。
- B. 正しい。リンの液体拡散源です。
- C. ジボランはボロンを含むガスです。