除害装置とは
じょがいそうち
製造装置から出る排ガスに含まれる有害な物質を、燃焼・吸着・水洗などで取り除く装置。
この用語の分野: 環境安全
解説の中の「除害装置」
これらのガスの多くは地球温暖化係数が大きいため、使用後は除害装置で分解してから排出します。
シリコン酸化膜(SiO2)のドライエッチングに主に使われるガスはどれか。シリンダーキャビネットや漏えい検知器、除害装置などで厳重に管理されます。
n型不純物の導入に使われるホスフィン(PH3)やアルシン(AsH3)の特徴として正しいものはどれか。NF3は地球温暖化係数が大きいため、使用後は除害装置で分解します。
三フッ化窒素(NF3)の主な用途はどれか。
「除害装置」が出てくる問題(6問)
関連する用語
プラズマ ドライエッチング ホスフィン(PH3) アルシン(AsH3) NF3(三フッ化窒素) CVD ラジカル 特殊材料ガス パーフルオロカーボン SDS(安全データシート)