アルシン(AsH3)とは
あるしん
ヒ素と水素の化合物のガス。n型の不純物(ヒ素)の導入や、GaAsなどの化合物半導体の成長に使われる。毒性が非常に強い。
この用語の分野: プロセス材料(ガス・薬液)
解説の中の「アルシン(AsH3)」
ホスフィンやアルシンは、ごく低い濃度でも人体に有害な極めて毒性の強いガスです。
n型不純物の導入に使われるホスフィン(PH3)やアルシン(AsH3)の特徴として正しいものはどれか。製造時に使うアルシン(AsH3)ガスはさらに猛毒で、厳重なガス検知と除害設備が必要です。
GaAsウエハの加工くずや廃棄物の取り扱いで注意が必要な理由として正しいものはどれか。リンにはホスフィン(PH3)、ヒ素にはアルシン(AsH3)、ゲルマニウムにはGeF4などを使います。
イオン注入装置のイオン源で、ボロンのイオンをつくるために使われる代表的なガスはどれか。
「アルシン(AsH3)」が出てくる問題(5問)
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