エピタキシャル成長中にドーピングガスを流し、成長と同時に不純物を添加することを何と呼ぶか。

正解：A. インサイチュドーピング

インサイチュドーピングでは、成長と同時に不純物を取り込むため、イオン注入のような結晶の損傷がなく、深さ方向に精密な濃度分布をつくれます。先端トランジスタのソース・ドレインのエピタキシャル層などで使われています。