Gesloten container voor het transport en de opslag van 300 mm-wafers.
Japanse benaming: FOUP
“FOUP” komt voor in 17 oefenvragen uit 6 onderwerpen, bijv. Cleanroom en productieapparatuur, Siliciumwafers, CMP en reiniging.
Vakgebied: Cleanroom en productieapparatuur
Antwoord: C. Een container om 300 mm-wafers hermetisch afgesloten te transporteren en op te slaan
Een FOUP (front opening unified pod) is een hermetisch afgesloten container met voorzijde-opening voor het transporteren en opslaan van maximaal 25 wafers van 300 mm, die met wafers circa 8 kg weegt. Doordat de wafers alleen in de FOUP en in de apparatuur schoon worden gehouden, kan vervuiling worden voorkomen zonder de hele fabriek extreem schoon te maken. Omdat afmetingen en wijze van openen genormeerd zijn, kan hij zonder meer op apparatuur van elke fabrikant worden geplaatst en wordt hij automatisch vervoerd, bijvoorbeeld via plafondtransport.
Antwoord: C. OHT (overhead hoist transport)
Een FOUP met 25 wafers van 300 mm weegt circa 8 kg, zodat handmatig transport zwaar is en gevaar voor deeltjesvorming en vallen oplevert. Een OHT is een transportvoertuig dat langs rails aan het plafond rijdt, de FOUP ophangt en automatisch naar de loadpoort van de apparatuur brengt, zodat de ruimte op de vloer voor werk en apparatuur beschikbaar blijft. Het is de kern van het geautomatiseerde transportsysteem van de hele fabriek (AMHS), en in grote fabrieken rijden honderden of meer voertuigen.
Een FOUP (front opening unified pod) is een hermetisch afgesloten container met voorzijde-opening voor het transporteren en opslaan van maximaal 25 wafers van 300 mm, die met wafers circa 8 kg weegt.
Welke uitspraak over de FOUP is juist?Een FOUP met 25 wafers van 300 mm weegt circa 8 kg, zodat handmatig transport zwaar is en gevaar voor deeltjesvorming en vallen oplevert.
Welk systeem in een fabriek voor 300 mm-wafers transporteer…Een EFEM (equipment front end module) is een module die de loadpoort waarop de FOUP wordt geplaatst, het mechanisme voor het openen van het deksel en de robot die wafers eruit haalt en de apparatuur in brengt, onderbrengt in een met FFU's schoon gehouden ruimte.
Welke eenheid aan de voorzijde van productieapparatuur open…Is er lucht in de FOUP, dan oxideert het waferoppervlak tijdens de wachttijd tussen processen en hechten vocht en moleculaire verontreinigingen aan.
Wat is het belangrijkste doel van het spoelen (purgen) van …Een stocker is een geautomatiseerd magazijn met stellingen waarin robots FOUP's plaatsen en weghalen, en waarin onder meer FOUP's die op vrijkomende apparatuur wachten tijdelijk worden opgeslagen.
Welk geautomatiseerd magazijn in het geautomatiseerde trans…Via OHT (overhead hoist transport) EFEM Numerieke apertuur (NA) FFU (fan filter unit) ULPA-filter Ingot Fosfine (PH3) NF3 (stikstoftrifluoride) Moleculaire verontreiniging (AMC)