Welke eenheid aan de voorzijde van productieapparatuur opent het deksel van de FOUP en transporteert de wafers in een schone omgeving de apparatuur in?

Antwoord: C. EFEM (module aan de voorzijde van de apparatuur, inclusief loadpoort en transportrobot)

Een EFEM (equipment front end module) is een module die de loadpoort waarop de FOUP wordt geplaatst, het mechanisme voor het openen van het deksel en de robot die wafers eruit haalt en de apparatuur in brengt, onderbrengt in een met FFU's schoon gehouden ruimte. Wafers kunnen tussen apparatuur en FOUP worden overgedragen zonder aan buitenlucht te worden blootgesteld, en de EFEM is de kern van de minienvironment. De OHT verzorgt transport tussen apparatuur en het ULPA-filter de reiniging van de lucht.