Nederlands
Menu

Cleanroom en productieapparatuur

Welke cleanroommethode plaatst productieapparatuur in een grote ruimte met weinig scheidingswanden en waarborgt de reinheid van wafers met afgesloten containers zoals FOUP's en minienvironments?

  1. ABay-chase-methode
  2. BTunnelmethode
  3. CBallroom-methode (grote ruimte)
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: C. Ballroom-methode (grote ruimte)

De ballroom-methode is een methode waarbij apparatuur in een grote ruimte wordt geplaatst zonder die met wanden in kleine delen te verdelen. Omdat wafers worden beschermd door afgesloten containers en de minienvironment van de apparatuur, hoeft de reinheid van de hele ruimte niet zo hoog te zijn en kan apparatuur gemakkelijker worden herschikt. Omdat OHT-rails ook vrij kunnen worden aangelegd, wordt ze veel toegepast in 300 mm-fabrieken. De bay-chase-methode scheidt werk- en onderhoudsgebied met wanden.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Cleanroom en productieapparatuur

  1. Welke waarde benadert het aantal malen per uur dat de lucht in een cleanroom met downflow en hoge reinheid wordt ververst (luchtverversingsvoud) het best?
  2. Wat is de belangrijkste reden dat in cleanrooms voor vloeren en werkbanken geleidende materialen (die statische lading afvoeren) worden gebruikt?
  3. Welke algemene definitie van de prestaties van een HEPA-filter is juist?
  4. Waarom worden in belichtingsgebieden die chemisch versterkte resist gebruiken basische moleculaire verontreinigingen zoals ammoniak en aminen bijzonder streng beheerst?
  5. Wat is de belangrijkste reden dat het binnenoppervlak van roestvrijstalen leidingen voor hoogzuivere gassen in een halfgeleiderfabriek elektrolytisch wordt gepolijst (EP)?