Gasvormige verontreinigingen in de lucht, zoals zuren, basen en organische stoffen. Worden niet door deeltjesfilters tegengehouden, maar met chemische filters verwijderd.
Japanse benaming: 分子状汚染(AMC)
“Moleculaire verontreiniging (AMC)” komt voor in 3 oefenvragen uit 1 onderwerpen, bijv. Cleanroom en productieapparatuur.
Vakgebied: Cleanroom en productieapparatuur
Antwoord: B. Chemisch filter (filter met actieve kool of ionenwisselaar)
ULPA- en HEPA-filters vangen deeltjes op, maar gasvormige moleculen glippen erdoor. Chemische filters gebruiken actieve kool, filtermedium dat is geïmpregneerd met stoffen die met zuren of basen reageren, ionenwisselaarhars enz. en verwijderen moleculen door adsorptie of reactie. Het type wordt gekozen naar gelang de te verwijderen stof, en omdat de adsorptiecapaciteit beperkt is, worden ze periodiek vervangen. Ze worden gebruikt bij de buitenluchtinlaat en bij belangrijke apparatuur zoals belichtingsapparaten.
AMC (airborne molecular contamination) zijn moleculaire verontreinigingen in de lucht, zoals zure en basische gassen, organische stoffen en doteerstoffen.
Welke term in een cleanroom verwijst niet naar deeltjes maa…Ook cosmetica en haarproducten kunnen een bron van deeltjes en moleculaire verontreiniging zijn en worden soms beperkt.
Welke zaken mogen alleen onder strenge beperkingen in de cl…Chemisch versterkte resist (CAR) ESD (elektrostatische ontlading) Via FOUP Downflow EFEM FFU (fan filter unit) HEPA-filter ISO 14644-1 Mini-environment