Gas dat onder meer wordt gebruikt voor het reinigen van de kamers van CVD-apparatuur. Heeft een hoog aardopwarmingsvermogen, dus beperking van de uitstoot is vereist.
Japanse benaming: NF3(三フッ化窒素)
“NF3 (stikstoftrifluoride)” komt voor in 5 oefenvragen uit 3 onderwerpen, bijv. Procesmaterialen (gassen, chemicaliën), Milieu en veiligheid, CMP en reiniging.
Vakgebied: Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)
Antwoord: C. Reiniging om aan de wand van de kamer van CVD-apparatuur afgezette lagen te verwijderen
Bij herhaalde CVD wordt ook op de binnenwand van de kamer een laag afgezet, die kan loskomen en deeltjes veroorzaakt. Met fluorradicalen uit door plasma ontlede NF3 worden deze afzettingen omgezet in vluchtige fluoriden en verwijderd. De remote-plasmamethode, waarbij het plasma buiten de kamer wordt gemaakt en alleen de radicalen worden toegevoerd, is gangbaar omdat daarmee schade aan onderdelen kan worden beperkt. Het aardopwarmingsvermogen van NF3 is groot, ca. 16.000 keer dat van CO2, dus het wordt in een afgasreiniger ontleed voordat het wordt uitgestoten.
Met fluorradicalen uit door plasma ontlede NF3 worden deze afzettingen omgezet in vluchtige fluoriden en verwijderd.
Wat is het belangrijkste gebruik van stikstoftrifluoride (N…Bij reiniging in de gasfase (droog) met onder meer waterstoffluoridedamp of radicalen uit een plasma van NF3 en NH3 (SiCoNi-behandeling) wordt geen vloeistof gebruikt, zodat geen zorg bestaat over instorten van patronen, en kan de wafer in vacuüm met depositieapparatuur worden verbonden en direct na de behandeling zonder oxidatie naar de volgende stap gaan.
Welke methode verwijdert natuurlijk oxide enz. van het oppe…Fosfine en NF3 zijn speciale procesgassen die alleen in bepaalde processen worden gebruikt.
Welk gas, dat in een halfgeleiderfabriek in een van de groo…Bij halfgeleiderfabrieken vallen naast de verbranding van brandstof ook de uitstoot van procesgassen zoals PFC's en NF3 onder scope 1, waarbij de afbraakefficiëntie van de afgasbehandelingsapparatuur de hoeveelheid bepaalt.
Onder welke categorie vallen bij het berekenen van de broei…Bij de remote-plasmamethode wordt NF3 buiten het apparaat met een hoge efficiëntie van 95 % of meer ontleed en worden alleen de fluorradicalen naar de kamer gestuurd, waardoor de uitstoot van broeikasgassen sterk afneemt en ook beschadiging van onderdelen van de kamer wordt beperkt.
Welke methode voor het reinigen van de CVD-kamer is toegepa…Plasma CVD Perfluorkoolstoffen (PFC) Natuurlijk oxide (native oxide) Numerieke apertuur (NA) Via FOUP Fosfine (PH3) Arsine (AsH3) Massaflowcontroller (MFC)