Nederlands
Menu

Cleanroom en productieapparatuur

Welk geautomatiseerd magazijn in het geautomatiseerde transportsysteem van een halfgeleiderfabriek slaat FOUP's tijdelijk op totdat ze naar de volgende processtap gaan?

  1. AStocker
  2. BEFEM
  3. CLuchtdouche
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Stocker

Een stocker is een geautomatiseerd magazijn met stellingen waarin robots FOUP's plaatsen en weghalen, en waarin onder meer FOUP's die op vrijkomende apparatuur wachten tijdelijk worden opgeslagen. Het binnenste is gevuld met schone lucht of stikstof en is verbonden met transportsystemen zoals de OHT, en volgens aanwijzingen van het productiebeheersysteem worden de benodigde FOUP's uitgegeven. Tegenwoordig worden ook kleine opslagrekken gebruikt, waarbij de ruimte onder het plafond wordt benut om FOUP's naast de rails te plaatsen.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Cleanroom en productieapparatuur

  1. Welke combinatie van benamingen voor het transport tussen bays en het transport tussen apparatuur binnen een bay in het geautomatiseerde transport van een fabriek met bays is juist?
  2. Welke cleanroommethode plaatst productieapparatuur in een grote ruimte met weinig scheidingswanden en waarborgt de reinheid van wafers met afgesloten containers zoals FOUP's en minienvironments?
  3. Welke waarde benadert het aantal malen per uur dat de lucht in een cleanroom met downflow en hoge reinheid wordt ververst (luchtverversingsvoud) het best?
  4. Wat is de belangrijkste reden dat in cleanrooms voor vloeren en werkbanken geleidende materialen (die statische lading afvoeren) worden gebruikt?
  5. Welke algemene definitie van de prestaties van een HEPA-filter is juist?