Hoogwaardig luchtfilter dat nog kleinere deeltjes opvangt dan een HEPA-filter. Wordt gebruikt in het plafond van cleanrooms met een hoge reinheid.
Japanse benaming: ULPAフィルタ
“ULPA-filter” komt voor in 5 oefenvragen uit 2 onderwerpen, bijv. Cleanroom en productieapparatuur, Milieu en veiligheid.
Vakgebied: Cleanroom en productieapparatuur
Antwoord: B. Ionisator (ontladingsapparaat)
In een droge cleanroom ontstaat gemakkelijk statische elektriciteit, en geladen wafers en maskers trekken deeltjes aan of beschadigen devices en maskerpatronen door elektrostatische ontlading. Een ionisator maakt met bijvoorbeeld corona-ontlading positieve en negatieve ionen en voert die aan de lucht toe om de lading van voorwerpen te neutraliseren. Dit is vooral effectief voor isolatoren die niet kunnen worden geaard. Een ULPA-filter dient voor het verwijderen van deeltjes en een scrubber voor het wassen van afgassen.
Antwoord: C. EFEM (module aan de voorzijde van de apparatuur, inclusief loadpoort en transportrobot)
Een EFEM (equipment front end module) is een module die de loadpoort waarop de FOUP wordt geplaatst, het mechanisme voor het openen van het deksel en de robot die wafers eruit haalt en de apparatuur in brengt, onderbrengt in een met FFU's schoon gehouden ruimte. Wafers kunnen tussen apparatuur en FOUP worden overgedragen zonder aan buitenlucht te worden blootgesteld, en de EFEM is de kern van de minienvironment. De OHT verzorgt transport tussen apparatuur en het ULPA-filter de reiniging van de lucht.
Een ULPA-filter dient voor het verwijderen van deeltjes en een scrubber voor het wassen van afgassen.
Welk apparaat in een cleanroom levert ionen aan de lucht om…De OHT verzorgt transport tussen apparatuur en het ULPA-filter de reiniging van de lucht.
Welke eenheid aan de voorzijde van productieapparatuur open…Een FFU is een eenheid waarin een ventilator en een HEPA/ULPA-filter zijn geïntegreerd; veel van deze eenheden worden in het plafond van een cleanroom geplaatst en blazen schone lucht omlaag.
Welk apparaat, waarin filter en ventilator zijn gecombineer…Het nog hoogwaardiger ULPA-filter zou 99,9995% of meer bij 0,15 µm halen.
Welke algemene definitie van de prestaties van een HEPA-fil…Een ULPA-filter verwijdert deeltjes en OHT is een transportvoorziening.
Welk apparaat absorbeert en verwijdert zure gassen in afgas…OHT (overhead hoist transport) EFEM FFU (fan filter unit) ESD (elektrostatische ontlading) FOUP Via HEPA-filter Contact Numerieke apertuur (NA) Perfluorkoolstoffen (PFC)