Welke minienvironment-methode, gangbaar in het tijdperk van 200 mm-wafers, plaatst de cassette in een afgesloten pod die aan de apparatuur wordt overgedragen?

Antwoord: B. SMIF

SMIF (Standard Mechanical Interface) is een methode waarbij de wafercassette in een afgesloten pod wordt vervoerd en boven op de apparatuur de bodem van de pod naar beneden wordt geopend, zodat de cassette de apparatuur in wordt gebracht. Ze werd in de jaren tachtig bedacht en maakte het idee van de minienvironment bekend. Bij 300 mm ontwikkelde ze zich tot de FOUP, waarin cassette en pod zijn geïntegreerd en die aan de voorzijde opent. De EFEM is de module aan de voorzijde van de apparatuur die de FOUP overdraagt.