Welk systeem in een fabriek voor 300 mm-wafers transporteert FOUP's automatisch tussen apparatuur langs rails aan het plafond?

Antwoord: C. OHT (overhead hoist transport)

Een FOUP met 25 wafers van 300 mm weegt circa 8 kg, zodat handmatig transport zwaar is en gevaar voor deeltjesvorming en vallen oplevert. Een OHT is een transportvoertuig dat langs rails aan het plafond rijdt, de FOUP ophangt en automatisch naar de loadpoort van de apparatuur brengt, zodat de ruimte op de vloer voor werk en apparatuur beschikbaar blijft. Het is de kern van het geautomatiseerde transportsysteem van de hele fabriek (AMHS), en in grote fabrieken rijden honderden of meer voertuigen.