Apparaat waarin een ventilator en een hoogwaardig filter zijn samengebracht. Wordt in rijen aan het plafond van een cleanroom geplaatst en blaast schone lucht naar beneden.
Japanse benaming: FFU(ファンフィルタユニット)
“FFU (fan filter unit)” komt voor in 4 oefenvragen uit 1 onderwerpen, bijv. Cleanroom en productieapparatuur.
Vakgebied: Cleanroom en productieapparatuur
Antwoord: C. EFEM (module aan de voorzijde van de apparatuur, inclusief loadpoort en transportrobot)
Een EFEM (equipment front end module) is een module die de loadpoort waarop de FOUP wordt geplaatst, het mechanisme voor het openen van het deksel en de robot die wafers eruit haalt en de apparatuur in brengt, onderbrengt in een met FFU's schoon gehouden ruimte. Wafers kunnen tussen apparatuur en FOUP worden overgedragen zonder aan buitenlucht te worden blootgesteld, en de EFEM is de kern van de minienvironment. De OHT verzorgt transport tussen apparatuur en het ULPA-filter de reiniging van de lucht.
Antwoord: A. FFU (fan filter unit)
Een FFU is een eenheid waarin een ventilator en een HEPA/ULPA-filter zijn geïntegreerd; veel van deze eenheden worden in het plafond van een cleanroom geplaatst en blazen schone lucht omlaag. Omdat de luchthoeveelheid per eenheid kan worden geregeld en wijzigingen van de indeling of van de reinheid van een deel gemakkelijk kunnen worden opgevangen, worden ze veel gebruikt in plaats van methoden waarbij lucht via grote kanalen wordt aangevoerd. Een EFEM is de module aan de voorzijde van de apparatuur en een OHT is een transportvoertuig aan het plafond.
Een EFEM (equipment front end module) is een module die de loadpoort waarop de FOUP wordt geplaatst, het mechanisme voor het openen van het deksel en de robot die wafers eruit haalt en de apparatuur in brengt, onderbrengt in een met FFU's schoon gehouden ruimte.
Welke eenheid aan de voorzijde van productieapparatuur open…Een FFU is een eenheid waarin een ventilator en een HEPA/ULPA-filter zijn geïntegreerd; veel van deze eenheden worden in het plafond van een cleanroom geplaatst en blazen schone lucht omlaag.
Welk apparaat, waarin filter en ventilator zijn gecombineer…FFU en EFEM zijn voorzieningen voor reiniging en transport.
Welk apparaat behandelt bij procesapparatuur die vacuüm geb…Gebruikelijk is de taakverdeling dat een buitenluchtbehandelingsunit stof verwijdert en temperatuur en vochtigheid constant houdt, terwijl in de ruimte de circulatielucht met FFU's wordt gereinigd en de temperatuur fijn wordt geregeld.
Welk apparaat in de luchtbehandeling van een cleanroom verw…EFEM OHT (overhead hoist transport) ULPA-filter FOUP Via Speciale materiaalgassen (specialty gases) Downflow HEPA-filter ISO 14644-1 Mini-environment