FOUP란?

ふーぷ

300 mmウエハを密閉した状態で搬送・保管するための容器。

일본어 명칭: FOUP

FOUP은(는) 클린룸과 장비, CMP와 세정 등 2개 분야의 연습 문제 12개에 나와요.

분야: 클린룸과 장비

도전해 보기: FOUP 관련 문제

FOUP에 대한 설명으로 올바른 것은 무엇인가?

  1. A노광 장비의 광원
  2. B웨이퍼를 연마하는 장비
  3. C300 mm 웨이퍼를 밀폐한 상태로 운반·보관하는 용기
정답과 해설 보기

정답: C. 300 mm 웨이퍼를 밀폐한 상태로 운반·보관하는 용기

FOUP(Front Opening Unified Pod)은 300 mm 웨이퍼를 최대 25장까지 밀폐하여 운반·보관하는 전면 개방식 용기로, 웨이퍼를 넣으면 약 8 kg이 됩니다. 웨이퍼를 FOUP 안과 장비 안에서만 청정하게 유지하면 공장 전체를 초청정으로 만들지 않아도 오염을 막을 수 있습니다. 치수와 개폐 방식이 규격으로 통일되어 있어 어느 제조사의 장비에도 그대로 올려놓을 수 있으며, 천장 반송 등으로 자동 운반됩니다.

300 mm 웨이퍼 공장에서 FOUP을 천장 레일을 따라 장비 사이로 자동 반송하는 시스템은 무엇인가?

  1. A사람이 하는 대차 반송
  2. B벨트 컨베이어만을 이용한 반송
  3. COHT(천장 주행식 무인 반송차)
정답과 해설 보기

정답: C. OHT(천장 주행식 무인 반송차)

300 mm 웨이퍼 25장을 담은 FOUP은 약 8 kg으로 무거워 사람이 운반하면 부담이 크고, 발진이나 낙하 위험도 있습니다. OHT는 천장 레일을 달리는 반송차로, FOUP을 매달아 장비의 로드 포트까지 자동으로 운반하며 바닥 공간을 작업이나 장비에 활용할 수 있습니다. 공장 전체의 자동 반송 시스템(AMHS)의 중심 설비로, 큰 공장에서는 수백 대 이상이 달리고 있습니다.

해설 속 FOUP

FOUP이(가) 나오는 문제 (12)

  1. FOUP에 대한 설명으로 올바른 것은 무엇인가?
  2. 300 mm 웨이퍼 공장에서 FOUP을 천장 레일을 따라 장비 사이로 자동 반송하는 시스템은 무엇인가?
  3. 제조 장비 전면에서 FOUP의 뚜껑을 열고 웨이퍼를 청정한 환경 그대로 장비 안으로 반송하는 유닛은 무엇인가?
  4. FOUP 내부를 질소로 치환(퍼지)하는 주된 목적은 무엇인가?
  5. 반도체 공장의 자동 반송 시스템에서 다음 공정으로 넘어가기 전의 FOUP을 일시적으로 보관하는 자동 창고는 무엇인가?
  6. 칸막이가 적은 큰 방 안에 제조 장비를 늘어놓고, FOUP 등의 밀폐 용기와 미니인바이런먼트로 웨이퍼의 청정도를 확보하는 클린룸 방식은 무엇인가?
  7. 웨이퍼의 뒷면이나 외곽(베벨부)을 세정하는 주된 목적은?
  8. 웨이퍼 주위의 좁은 공간만 높은 청정도로 유지하는 개념을 무엇이라고 부르는가?
  9. 노광 장비 등 정밀 장비에서 바닥으로부터 전달되는 진동의 영향을 억제하기 위해 사용하는 것은 무엇인가?
  10. 클린룸 내부로의 반입이 엄격히 제한되는 것은 무엇인가?
  11. 200 mm 웨이퍼 시대에 보급된, 카세트를 밀폐된 포드에 넣어 장비에 전달하는 미니인바이런먼트 방식은 무엇인가?
  12. 순간 전압 강하(순저)나 정전으로 인한 제조 중 웨이퍼의 손실을 막기 위해 반도체 공장에서 도입하는 설비는 무엇인가?

관련 용어

OHT(天井走行式無人搬送車) EFEM FFU(ファンフィルタユニット) 分子状汚染(AMC) HEPAフィルタ ISO 14644-1 ULPAフィルタ ダウンフロー ミニエンバイロメント

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