Nederlands
Menu

Cleanroom en productieapparatuur

Hoe heet het concept waarbij alleen de kleine ruimte rond de wafers op een hoge reinheid wordt gehouden?

  1. ABallroom-methode
  2. BMinienvironment-methode
  3. CMethode met uitgeschakelde downflow
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Minienvironment-methode

Bij de minienvironment-methode worden alleen de ruimten waarmee de wafers in aanraking komen, zoals de FOUP en het binnenste van de apparatuur, extreem schoon gehouden en wordt de reinheid van de ruimte waar mensen werken iets versoepeld. Doordat het volume dat schoon moet zijn sterk afneemt, kunnen de bouwkosten en bedrijfskosten van de luchtbehandeling lager zijn dan bij de ballroom-methode, waarbij de hele ruimte extreem schoon wordt gemaakt. Omdat mensen van de wafers worden gescheiden, wordt ook de vervuiling door mensen verminderd.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Cleanroom en productieapparatuur

  1. Wat is de belangrijkste reden om de luchtdruk in een cleanroom hoger te houden dan in de omgeving (overdruk)?
  2. Wat is een van de belangrijkste bronnen van deeltjes in een cleanroom, waartegen het dragen van een cleanroompak wordt gebruikt?
  3. Welke term in een cleanroom verwijst niet naar deeltjes maar naar gasvormige verontreinigingen (zuren, basen, organische stoffen enz.)?
  4. Welk systeem in een fabriek voor 300 mm-wafers transporteert FOUP's automatisch tussen apparatuur langs rails aan het plafond?
  5. Welke voorziening bij de ingang van een cleanroom blaast sterke schone lucht op de operator om stof van het oppervlak van de kleding te verwijderen?