Welke voorziening wordt in halfgeleiderfabrieken geplaatst om verlies van wafers in productie door kortstondige spanningsdips of stroomuitval te voorkomen?

Antwoord: B. Een noodstroomvoorziening (UPS) of voorziening tegen spanningsdips

Halfgeleiderapparatuur kan al bij een spanningsdip van circa 0,1 seconde stoppen, waardoor wafers in bewerking defect raken en het lang duurt om vacuüm en temperatuur te herstellen en opnieuw op te starten. Kortstondige spanningsdips door bijvoorbeeld blikseminslag komen regelmatig voor, zodat voor belangrijke apparatuur en voorzieningen een noodstroomvoorziening of een voorziening tegen spanningsdips wordt geplaatst om de stroomvoorziening ononderbroken te houden. Filters en FOUP's zijn geen maatregelen voor de stroomvoorziening.