Cleanroom en productieapparatuur
Welke uitspraak over de FOUP is juist?
- ADe lichtbron van een belichtingsapparaat
- BEen apparaat om wafers te polijsten
- CEen container om 300 mm-wafers hermetisch afgesloten te transporteren en op te slaan
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: C. Een container om 300 mm-wafers hermetisch afgesloten te transporteren en op te slaan
Een FOUP (front opening unified pod) is een hermetisch afgesloten container met voorzijde-opening voor het transporteren en opslaan van maximaal 25 wafers van 300 mm, die met wafers circa 8 kg weegt. Doordat de wafers alleen in de FOUP en in de apparatuur schoon worden gehouden, kan vervuiling worden voorkomen zonder de hele fabriek extreem schoon te maken. Omdat afmetingen en wijze van openen genormeerd zijn, kan hij zonder meer op apparatuur van elke fabrikant worden geplaatst en wordt hij automatisch vervoerd, bijvoorbeeld via plafondtransport.