Cleanroom en productieapparatuur

Welke uitspraak over de FOUP is juist?

  1. ADe lichtbron van een belichtingsapparaat
  2. BEen apparaat om wafers te polijsten
  3. CEen container om 300 mm-wafers hermetisch afgesloten te transporteren en op te slaan
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: C. Een container om 300 mm-wafers hermetisch afgesloten te transporteren en op te slaan

Een FOUP (front opening unified pod) is een hermetisch afgesloten container met voorzijde-opening voor het transporteren en opslaan van maximaal 25 wafers van 300 mm, die met wafers circa 8 kg weegt. Doordat de wafers alleen in de FOUP en in de apparatuur schoon worden gehouden, kan vervuiling worden voorkomen zonder de hele fabriek extreem schoon te maken. Omdat afmetingen en wijze van openen genormeerd zijn, kan hij zonder meer op apparatuur van elke fabrikant worden geplaatst en wordt hij automatisch vervoerd, bijvoorbeeld via plafondtransport.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Cleanroom en productieapparatuur

  1. Wat is het belangrijkste doel van de methode (downflow) in een cleanroom waarbij lucht in één richting van plafond naar vloer stroomt?
  2. Welk hoogwaardig filter wordt gebruikt om fijne deeltjes uit de lucht van een cleanroom te verwijderen?
  3. Hoe heet het concept waarbij alleen de kleine ruimte rond de wafers op een hoge reinheid wordt gehouden?
  4. Wat is de belangrijkste reden om de luchtdruk in een cleanroom hoger te houden dan in de omgeving (overdruk)?
  5. Wat is een van de belangrijkste bronnen van deeltjes in een cleanroom, waartegen het dragen van een cleanroompak wordt gebruikt?