Wat wordt in precisieapparatuur zoals belichtingsapparaten gebruikt om de invloed van via de vloer overgedragen trillingen te onderdrukken?

Antwoord: A. Trillingsisolatietafel (zoals een actief trillingsisolatiesysteem)

Precisieapparatuur zoals belichtingsapparaten en elektronenmicroscopen verliest al bij geringe trillingen aan nauwkeurigheid. Ze worden daarom geplaatst op een trillingsisolatietafel, zoals een actief trillingsisolatiesysteem dat met veren, luchtveren en sensoren trillingen detecteert en met een tegengestelde kracht opheft. Ook het gebouw van de fabriek wordt ontworpen als constructie met weinig trillingen, met dikke vloeren en zware kolommen, en trillingsbronnen zoals pompen worden op een aparte vloer geplaatst. Luchtbevochtigers en FOUP's zijn geen trillingsmaatregelen.