Apparaat dat langs rails aan het plafond rijdt en FOUP's automatisch tussen productieapparatuur vervoert. Het belangrijkste middel voor automatisch transport in fabrieken voor 300 mm-wafers.
Japanse benaming: OHT(天井走行式無人搬送車)
“OHT (overhead hoist transport)” komt voor in 8 oefenvragen uit 3 onderwerpen, bijv. Cleanroom en productieapparatuur, Siliciumwafers, Milieu en veiligheid.
Vakgebied: Cleanroom en productieapparatuur
Antwoord: C. Circa 128 g
Het volume is π × (15 cm)² × 0,0775 cm ≈ 54,8 cm³, en vermenigvuldigd met de dichtheid van 2,33 g/cm³ geeft dit circa 128 g. Een wafer van 200 mm (dikte 725 µm) weegt circa 53 g. Een houder (FOUP) met 25 wafers van 300 mm weegt in totaal circa 8 kg, zodat in fabrieken automatisch wordt vervoerd met een transportsysteem aan het plafond (OHT). Gewicht en breekbaarheid waren een van de redenen om bij grotere diameters het handmatig transport te schrappen.
Antwoord: C. OHT (overhead hoist transport)
Een FOUP met 25 wafers van 300 mm weegt circa 8 kg, zodat handmatig transport zwaar is en gevaar voor deeltjesvorming en vallen oplevert. Een OHT is een transportvoertuig dat langs rails aan het plafond rijdt, de FOUP ophangt en automatisch naar de loadpoort van de apparatuur brengt, zodat de ruimte op de vloer voor werk en apparatuur beschikbaar blijft. Het is de kern van het geautomatiseerde transportsysteem van de hele fabriek (AMHS), en in grote fabrieken rijden honderden of meer voertuigen.
Een houder (FOUP) met 25 wafers van 300 mm weegt in totaal circa 8 kg, zodat in fabrieken automatisch wordt vervoerd met een transportsysteem aan het plafond (OHT).
Welke waarde ligt het dichtst bij de massa van één silicium…Een OHT is een transportvoertuig dat langs rails aan het plafond rijdt, de FOUP ophangt en automatisch naar de loadpoort van de apparatuur brengt, zodat de ruimte op de vloer voor werk en apparatuur beschikbaar blijft.
Welk systeem in een fabriek voor 300 mm-wafers transporteer…De OHT verzorgt transport tussen apparatuur en het ULPA-filter de reiniging van de lucht.
Welke eenheid aan de voorzijde van productieapparatuur open…Een EFEM is de module aan de voorzijde van de apparatuur en een OHT is een transportvoertuig aan het plafond.
Welk apparaat, waarin filter en ventilator zijn gecombineer…Het binnenste is gevuld met schone lucht of stikstof en is verbonden met transportsystemen zoals de OHT, en volgens aanwijzingen van het productiebeheersysteem worden de benodigde FOUP's uitgegeven.
Welk geautomatiseerd magazijn in het geautomatiseerde trans…FOUP ULPA-filter EFEM FFU (fan filter unit) Via Contact Numerieke apertuur (NA) Perfluorkoolstoffen (PFC) Downflow HEPA-filter