Siliciumwafers
Welke waarde ligt het dichtst bij de massa van één siliciumwafer met een diameter van 300 mm en een dikte van 775 µm? (De dichtheid van silicium is circa 2,33 g/cm³.)
- ACirca 13 g
- BCirca 1280 g
- CCirca 128 g
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: C. Circa 128 g
Het volume is π × (15 cm)² × 0,0775 cm ≈ 54,8 cm³, en vermenigvuldigd met de dichtheid van 2,33 g/cm³ geeft dit circa 128 g. Een wafer van 200 mm (dikte 725 µm) weegt circa 53 g. Een houder (FOUP) met 25 wafers van 300 mm weegt in totaal circa 8 kg, zodat in fabrieken automatisch wordt vervoerd met een transportsysteem aan het plafond (OHT). Gewicht en breekbaarheid waren een van de redenen om bij grotere diameters het handmatig transport te schrappen.