Quel gaz, parmi les plus consommés dans les usines de semi-conducteurs, est distribué par canalisations comme gaz de purge et d'atmosphère ?

Réponse : B. L'azote (N2)

L'azote, inerte et bon marché, est utilisé en grandes quantités pour purger les équipements et canalisations, remplacer l'atmosphère des FOUP et des équipements, protéger les pompes à vide, etc. Les grandes usines installent une unité de séparation de l'air sur site ou à proximité et le distribuent par canalisations. Utilisé en grande quantité, il présente en cas de fuite dans un espace confiné un risque d'anoxie si la concentration en oxygène tombe sous 18 %. La phosphine et le NF3 sont des gaz spéciaux utilisés seulement dans certaines étapes.