Quelle unité, à l'avant d'un équipement de fabrication, ouvre le couvercle du FOUP et transfère les plaquettes dans l'équipement en maintenant un environnement propre ?

Réponse : C. EFEM (module avant d'équipement comprenant ports de chargement et robot de transfert)

L'EFEM (Equipment Front End Module) regroupe, dans un espace maintenu propre par des FFU, les ports de chargement où l'on pose les FOUP, le mécanisme d'ouverture des couvercles et le robot qui sort les plaquettes et les achemine dans l'équipement. Les plaquettes passent ainsi entre FOUP et équipement sans exposition à l'air ambiant ; c'est la pièce maîtresse du mini-environnement. L'OHT assure le transport entre équipements, le filtre ULPA la purification de l'air.