Abréviation de Equipment Front End Module. Module en façade d'un équipement qui ouvre le FOUP et transfère les plaquettes dans l'équipement en atmosphère propre. Il comprend les load ports et le robot de transfert.
Nom japonais: EFEM
« EFEM » apparaît dans 4 questions d'entraînement réparties sur 1 thèmes, dont Salles blanches et équipements.
Domaine: Salles blanches et équipements
Réponse : C. EFEM (module avant d'équipement comprenant ports de chargement et robot de transfert)
L'EFEM (Equipment Front End Module) regroupe, dans un espace maintenu propre par des FFU, les ports de chargement où l'on pose les FOUP, le mécanisme d'ouverture des couvercles et le robot qui sort les plaquettes et les achemine dans l'équipement. Les plaquettes passent ainsi entre FOUP et équipement sans exposition à l'air ambiant ; c'est la pièce maîtresse du mini-environnement. L'OHT assure le transport entre équipements, le filtre ULPA la purification de l'air.
Réponse : A. FFU (unité filtre-ventilateur)
La FFU intègre un ventilateur et un filtre HEPA/ULPA ; disposée en grand nombre au plafond de la salle blanche, elle souffle de l'air propre vers le bas. Le débit de chaque unité étant réglable, elle s'adapte facilement aux changements d'agencement ou de propreté locale ; elle a largement remplacé la distribution d'air par grandes gaines. L'EFEM est le module avant d'équipement, l'OHT le véhicule de transport au plafond.
L'EFEM (Equipment Front End Module) regroupe, dans un espace maintenu propre par des FFU, les ports de chargement où l'on pose les FOUP, le mécanisme d'ouverture des couvercles et le robot qui sort les plaquettes et les achemine dans l'équipement.
Quelle unité, à l'avant d'un équipement de fabrication, ouv…L'EFEM est le module avant d'équipement, l'OHT le véhicule de transport au plafond.
Quel équipement, disposé en nombre au plafond, intègre un f…L'EFEM est le module avant d'équipement qui reçoit les FOUP.
Quelle approche de mini-environnement, répandue à l'époque …La FFU et l'EFEM sont des équipements de purification et de transport.
Pour les équipements de procédé sous vide, quel dispositif …FFU (unité de filtration ventilée) FOUP Mini-environnement OHT (transport aérien automatisé) Filtre ULPA Filtre HEPA Débit (throughput) Gaz spéciaux Plasma Contamination moléculaire aéroportée (AMC)