Comment appelle-t-on l'approche qui ne maintient une haute propreté que dans l'espace restreint entourant les plaquettes ?

Réponse : B. Mini-environnement

L'approche par mini-environnement ne maintient une propreté extrême que dans les espaces en contact avec les plaquettes, comme le FOUP ou l'intérieur des équipements, et assouplit un peu la propreté des espaces où travaillent les personnes. Le volume à rendre propre étant fortement réduit, les coûts de construction et d'exploitation de la climatisation sont moindres que dans une salle de type ballroom où toute la salle est ultra-propre. La séparation entre personnes et plaquettes réduit aussi la contamination d'origine humaine.