Plaquettes de silicium

Quelle valeur est la plus proche de la masse d'un wafer de silicium de 300 mm de diamètre et 775 µm d'épaisseur ? (Masse volumique du silicium : environ 2.33 g/cm³)

  1. AEnviron 13 g
  2. BEnviron 1,280 g
  3. CEnviron 128 g
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Réponse : C. Environ 128 g

Le volume vaut π × (15 cm)² × 0.0775 cm ≈ 54.8 cm³ ; multiplié par la masse volumique de 2.33 g/cm³, on obtient environ 128 g. Un wafer de 200 mm (725 µm d'épaisseur) pèse environ 53 g. Un conteneur (FOUP) de 25 wafers de 300 mm pèse au total environ 8 kg ; en usine, il est donc transporté automatiquement par des systèmes de transport aériens (OHT). Le poids et la fragilité sont l'une des raisons de l'abandon de la manutention manuelle avec l'augmentation du diamètre.

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