Quel équipement les usines de semi-conducteurs installent-elles pour éviter la perte de plaquettes en cours de fabrication lors de creux de tension ou de coupures de courant ?

Réponse : B. Alimentation sans interruption (ASI) ou dispositif de protection contre les creux de tension

Les équipements de fabrication peuvent s'arrêter lors d'un creux de tension d'environ 0,1 seconde ; les plaquettes en cours de traitement deviennent alors défectueuses, et le redémarrage, avec rétablissement du vide et des températures, prend longtemps. Les creux de tension dus notamment à la foudre n'étant pas rares, les équipements et installations critiques sont dotés d'ASI ou de dispositifs de protection pour garantir une alimentation ininterrompue. Les filtres et les FOUP ne protègent pas l'alimentation.