Qu'utilise-t-on pour limiter l'effet des vibrations transmises par le sol aux équipements de précision comme les équipements d'exposition ?

Réponse : A. Une table anti-vibrations (système d'isolation active des vibrations, etc.)

Les équipements de précision comme les équipements d'exposition ou les microscopes électroniques perdent en précision à la moindre vibration. Ils sont donc installés sur des tables anti-vibrations, par exemple des systèmes actifs qui détectent les vibrations par des ressorts, des ressorts pneumatiques et des capteurs, et appliquent une force opposée pour les annuler. Le bâtiment de l'usine est aussi conçu avec des planchers épais et de gros poteaux pour limiter les vibrations, et les sources comme les pompes sont placées sur un plancher séparé. Humidificateurs et FOUP ne sont pas des équipements anti-vibrations.